电容式加速传感器(capacitive acceleration sensor，CAS)。该电容式加速传感器主要具有一非单晶硅基底，一具有一可动端(movable section)的多晶硅梁状(beam)结构，且在可动端部分设有一可动电极，一多晶硅支承构件(supporter)设于该非单晶硅基底上，用来固定梁状结构，使得梁状结构与该非单晶硅基底之间相隔一距离，一固定电极(stationaryelectrode)设于梁状结构的可动端下方的该非单晶硅基底上，且固定电极与可动电极构成一平板电容(plate capacitor)，以及一薄膜晶体管(thin filmtransistor，TFT)控制电路电连接于平板电容。
西普电气
阅 读 排 行
